2024年12月23日消息，國家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局信息顯示，眉山璉升光伏科技有限公司取得一項(xiàng)名為“一種用于異質(zhì)結(jié)磁控濺射設(shè)備的破空裝置”的專利，授權(quán)公告號(hào)CN 222182426 U ，申請(qǐng)日期為2023年12月。

專利摘要顯示，本實(shí)用新型公開了一種用于異質(zhì)結(jié)磁控濺射設(shè)備的破空裝置，包括接入磁控濺射真空腔體中的破空管路；所述破空管路未接入腔體的一端連接破空氣罐，所述破空氣罐包括進(jìn)氣口和出氣口所述破空氣罐的進(jìn)氣口連接 CDA 供氣管路；所述破空氣罐的出氣口連接有用于控制氣罐的出氣速度的第一閥門；所述破空氣罐的進(jìn)氣口連接有用于控制氣罐的進(jìn)氣速度的第二閥門。本實(shí)用新型的裝置借助 CDA 供氣和氣罐進(jìn)行破空，不僅能夠加快破空速度，保障工作腔室內(nèi)的潔凈，還能夠避免破空過程對(duì) CDA 整體供氣管路內(nèi)的壓力影響，減少誤報(bào)，保障工作高效穩(wěn)定進(jìn)行，提升設(shè)備稼動(dòng)率。