天眼查知識(shí)產(chǎn)權(quán)信息顯示，亞洲硅業(yè)（青海）股份有限公司申請一項(xiàng)名為“一種多晶硅生產(chǎn)裝置智能巡檢系統(tǒng)“，公開號(hào) CN202410565912.7，申請日期為 2024 年 5 月。

專利摘要顯示，本發(fā)明屬于多晶硅生產(chǎn)領(lǐng)域，具體涉及一種多晶硅生產(chǎn)裝置智能巡檢系統(tǒng)。旨在通過使用軌道或輪巡機(jī)器人搭載光譜分析攝像頭，實(shí)現(xiàn)多晶硅生產(chǎn)裝置的自動(dòng)化、高效巡檢，提高安全性，減少人為誤差，并增強(qiáng)生產(chǎn)過程的穩(wěn)定性和安全性。主要方案包括采用軌道機(jī)器人或輪巡機(jī)器人搭載光譜分析攝像頭收集多晶硅生產(chǎn)裝置內(nèi)部的光譜數(shù)據(jù)；通過光譜分析技術(shù)獲得的關(guān)于物質(zhì)組成和特性的數(shù)據(jù)，根據(jù)光譜分析模塊的數(shù)據(jù)，診斷裝置的故障部位和原因、實(shí)時(shí)調(diào)整工藝參數(shù)、分析環(huán)境中的污染物種類和濃度，當(dāng)數(shù)據(jù)超過預(yù)設(shè)閾值時(shí)，觸發(fā)聲光預(yù)警并啟動(dòng)聯(lián)鎖裝置；通過控制模塊全局邏輯控制，實(shí)現(xiàn)模塊之間的數(shù)據(jù)傳輸和處理。