天眼查知識產(chǎn)權(quán)信息顯示，新疆大全新能源股份有限公司取得一項名為“一種多晶硅的生產(chǎn)還原工藝“，授權(quán)公告號 CN114735706B，申請日期為 2022 年 4 月。

專利摘要顯示，本發(fā)明為一種多晶硅的生產(chǎn)還原工藝。一種多晶硅的生產(chǎn)還原工藝，包括：（1）三氯氫硅通過管線 1 輸送到 E1 模塊，加熱到 60?100℃后，通過管線 2 輸送到 T1 模塊；氫氣通過管線 3 輸送到 E2 模塊，加熱到 100?180℃后，通過管線 4 輸送到所述的 T1 模塊；（2）所述的三氯氫硅和氫氣在所述的 T1 模塊混合后，通過管線 5 輸送到 E3 模塊，再通過管線 6 輸送到 T2 模塊進行熱沉積，并進行余熱的回收。本發(fā)明所述的一種多晶硅的生產(chǎn)還原工藝，通過連續(xù)耦合對熱量進行利用，最大化的利用自身的熱能，在多晶硅高效還原生產(chǎn)環(huán)節(jié)提供了全套的能耗最低的工藝系統(tǒng)，提供一整套完整的循環(huán)節(jié)能控制方案。