天眼查知識產(chǎn)權(quán)信息顯示，蘇州邁為科技股份有限公司取得一項名為“曝光機及太陽能(4.980, -0.05, -0.99%)電池加工設(shè)備“，授權(quán)公告號CN221101265U，申請日期為2023年11月。

專利摘要顯示，本實用新型涉及太陽能電池制造技術(shù)領(lǐng)域，尤其涉及一種曝光機及太陽能電池加工設(shè)備。該曝光機包括光源、制冷模塊和掩膜板，其中，光源架設(shè)在掩膜板上方，制冷模塊包括保溫腔室，保溫腔室設(shè)置在光源與掩膜板之間，光源用于發(fā)射激光，激光依次經(jīng)過保溫腔室和掩膜板后照射在硅片上。通過制冷模塊的設(shè)置使得掩膜板的圖形區(qū)域和非圖形區(qū)域的溫度明顯降低，使得掩膜板的溫度和曝光機內(nèi)部設(shè)備機架的溫度保持恒定，避免由于熱量集中導(dǎo)致掩膜板發(fā)生形變、設(shè)備機架發(fā)生漲縮的問題，提高該曝光機的產(chǎn)品良率，達(dá)到節(jié)約成本的目的。