2024年1月18日據(jù)國家知識產(chǎn)權(quán)局公告，蘇州邁為科技股份有限公司取得一項名為“采用RPD和PVD制備異質(zhì)結(jié)太陽能電池的裝置及系統(tǒng)“，授權(quán)公告號CN220352223U，申請日期為2023年8月。

專利摘要顯示，本申請公開了一種采用RPD和PVD制備異質(zhì)結(jié)太陽能電池的裝置及系統(tǒng)，屬于太陽能電池領(lǐng)域。一種采用RPD和PVD制備異質(zhì)結(jié)太陽能電池的裝置，該裝置包括用于環(huán)境過渡的進端室組、對電池片第一面進行鍍膜的第一面鍍膜室、對電池片第二面進行鍍膜的第二面鍍膜室組、用于環(huán)境過渡的出端室組以及主控單元；第一面鍍膜室包括第一PVD磁控濺射室；第二面鍍膜室組包括依次設(shè)置的RPD鍍膜腔室和第二PVD磁控濺射室，在電池片第二面制備RPD+PVD復(fù)合TCO膜；復(fù)合TCO膜為PVD膜沉積在RPD膜的遠離硅片的一面的層疊式復(fù)合膜。本申請可以在保證制備效率、SHJ電池能量轉(zhuǎn)化率的情況下降低制備成本，突破RPD設(shè)備產(chǎn)能受限問題。