捷佳偉創(chuàng):國內(nèi)首臺(tái)完全自主研發(fā)的電子級(jí)硅芯清洗設(shè)備即將交付客戶
來源:證券時(shí)報(bào)網(wǎng) /
閱讀次數(shù):936 / 發(fā)布時(shí)間:2023-09-11
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捷佳偉創(chuàng)消息,近日,公司子公司常州捷佳創(chuàng)精密機(jī)械有限公司國內(nèi)首臺(tái)完全自主研發(fā)的電子級(jí)硅芯清洗設(shè)備成功下線,將于近日部署至某合作客戶處。此款硅芯清洗設(shè)備是一款用于硅料端制程的硅芯的腐蝕清洗設(shè)備,可用于高純光伏硅片和半導(dǎo)體硅片的生產(chǎn)制程。