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晶盛機電：目前自主研發(fā)的碳化硅單晶爐已經(jīng)實現(xiàn)銷售
晶盛機電在互動平臺表示，公司較早啟動了對碳化硅等第三代半導體材料設備的研發(fā)。目前自主研發(fā)的碳化硅單晶爐已經(jīng)實現(xiàn)銷售，外延設備已經(jīng)取得客戶技術(shù)驗證通過，在行業(yè)內(nèi)奠定了較好的基礎和聲譽。公司將繼續(xù)加大研發(fā)力度，充分發(fā)揮在半導體裝備和精密制造領(lǐng)域的技術(shù)優(yōu)勢，持續(xù)拓展碳化硅等第三代半導體材料裝備。