近日,國務(wù)院國資委發(fā)布了《中央企業(yè)科技創(chuàng)新成果產(chǎn)品手冊(2023年版)》,涉及電子元器件、零部件、儀器設(shè)備、軟件產(chǎn)品、新材料、工藝技術(shù)、高端裝備7個領(lǐng)域共202項成果,其中黃河公司生產(chǎn)制造的“黃河水電多晶硅”作為新材料創(chuàng)新成果入選。
《中央企業(yè)科技創(chuàng)新成果產(chǎn)品手冊》由國務(wù)院國資委組織開展科技創(chuàng)新成果征集遴選工作,經(jīng)企業(yè)推薦與專家評審編制形成,旨在加快中央企業(yè)科技創(chuàng)新成果應(yīng)用推廣,加速科技成果向現(xiàn)實生產(chǎn)力轉(zhuǎn)化,培育發(fā)展新質(zhì)生產(chǎn)力的新動能。
黃河公司電子級多晶硅產(chǎn)能3300噸/年,國內(nèi)集成電路硅片企業(yè)應(yīng)用超過7年,已成為國內(nèi)第一家正式向12英寸硅片客戶供應(yīng)的企業(yè),打破中國電子級多晶硅完全依賴進口的局面,成為國內(nèi)集成電路行業(yè)認可的電子級多晶硅供應(yīng)商。
歷經(jīng)十余年的發(fā)展,“黃河水電多晶硅”還新嗎?新在哪?
新在不斷突破核心技術(shù)“卡”點。隨著下游產(chǎn)品應(yīng)用領(lǐng)域的持續(xù)拓展,大尺寸硅片需求量快速增長,8英寸、12英寸硅片用材料國內(nèi)供給率較低,尤其是12英寸產(chǎn)品主要依賴于進口,能夠批量生產(chǎn)的企業(yè)少之又少。
“關(guān)鍵核心技術(shù)是要不來、買不來、討不來的,要把關(guān)鍵核心技術(shù)掌握在自己手中,關(guān)鍵還是要優(yōu)化生產(chǎn)技術(shù)和質(zhì)量控制技術(shù),要在產(chǎn)品生產(chǎn)制造、裝置穩(wěn)定運行等各環(huán)節(jié)的過程控制上做到精益求精?!秉S河公司新能源分公司質(zhì)量保證部主任李有斌說。
黃河公司新能源分公司錨定用于12英寸硅片方向產(chǎn)品產(chǎn)量、質(zhì)量目標(biāo),對關(guān)鍵工藝過程進行充分研究論證后實施技術(shù)改造,成效顯著。從質(zhì)量上看,全線多晶硅產(chǎn)品碳雜質(zhì)、受主雜質(zhì)穩(wěn)步降低,可供銷售電子級多晶硅產(chǎn)品產(chǎn)量顯著增加,2023年應(yīng)用于12英寸方向產(chǎn)品產(chǎn)量同比提升273.27%。從應(yīng)用端看,產(chǎn)品經(jīng)過一系列嚴格的測試和客戶驗證后,各項指標(biāo)滿足集成電路用材料,可以用于極大規(guī)模集成電路用12英寸單晶制造,成為國內(nèi)第一家正式面向12英寸硅片客戶供應(yīng)原料的企業(yè)。
新在持續(xù)搶占科技創(chuàng)新“高”點。黃河公司持續(xù)在技術(shù)創(chuàng)新上攻堅發(fā)力,加強科技攻關(guān)及技術(shù)儲備,研發(fā)建立了硅塊表碳分析方法,開發(fā)了還原爐鐘罩銀噴涂、小料清洗工藝技術(shù)及硅棒退火切割方硅芯生產(chǎn)工藝,《半導(dǎo)體硅材料雜質(zhì)及微觀結(jié)構(gòu)檢測分析技術(shù)研究項目》科技成果鑒定等級為國內(nèi)先進,榮獲2023年中國電力技術(shù)市場協(xié)會優(yōu)秀科技創(chuàng)新技術(shù)成果一等獎、中國電力設(shè)備管理協(xié)會設(shè)備創(chuàng)新成果一等獎、中國電力企業(yè)聯(lián)合會電力職工技術(shù)創(chuàng)新一等獎3項行業(yè)級科技獎勵。
截至目前,黃河公司在電子級多晶硅科技研發(fā)方面申請承擔(dān)國家科技重大專項1項,國家級科技項目3項,省部級科技項目24項,市級科技項目9項,獲得科技類獎勵26項;申請專利74件,獲得發(fā)明專利授權(quán)4件,主持/參編國家標(biāo)準(zhǔn)18部、行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)4部、團體標(biāo)準(zhǔn)10部;獲得省級科技成果11項。
“新質(zhì)生產(chǎn)力是高質(zhì)量的生產(chǎn)力,我們將堅持創(chuàng)新發(fā)展,在技術(shù)創(chuàng)新上勇于突破,在企業(yè)創(chuàng)新上激發(fā)動能,以打造國家集成電路材料一流企業(yè)為引擎,積極搶占發(fā)展新賽道新高地,加快培育新質(zhì)生產(chǎn)力,為黃河公司向‘新’向‘高’發(fā)展注入源源不斷動力?!秉S河公司新能源分公司總經(jīng)理秦榕表示。