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芝浦機(jī)電：第5代以后低溫多晶硅TFT液晶生產(chǎn)線清洗裝置
徐州團(tuán)購 徐州團(tuán)購網(wǎng)
徐州團(tuán)購 徐州團(tuán)購網(wǎng) 芝浦機(jī)電在FPD International2011”（10月26～28日，太平洋橫濱會展中心）上，以展板形式展出了使用氫氟酸（HF）濃度管理單元的低溫多晶硅TFT液晶面板晶圓清洗裝置。支持第5代以上的大尺寸基板。
芝浦機(jī)電在FPD International2011”（10月26～28日，太平洋橫濱會展中心）上，以展板形式展出了使用氫氟酸（HF）濃度管理單元的低溫多晶硅TFT液晶面板晶圓清洗裝置。支持第5代以上的大尺寸基板。
在晶圓清洗工藝中，第4.5代以前一直采用旋轉(zhuǎn)式清洗裝置。但第5代以后由于玻璃基板越來越難以轉(zhuǎn)動，因此采用了使用噴頭的一列式（In-Line）清洗裝置。旋轉(zhuǎn)式清洗裝置通過旋轉(zhuǎn)使清洗液高效擴(kuò)散到基板上，而一列式清洗裝置無法獲得這種效果。因此，改成一列式之后，藥液用量驟增，超出了基板尺寸的增大比例。因此，第5代工藝以后越來越多地需要重新利用第4.5代以前已經(jīng)不再使用的藥液。芝浦機(jī)電推出了測量再利用時的藥液濃度，以過濾雜質(zhì)和補(bǔ)充藥液的HF濃度管理單元。另外，該公司還提出了觸摸面板等噴涂裝置的新用途。